摘要: | 本发明提出一种垂直腔表面激光发射器(VCSEL),采用亚波长光栅结构(SWG),有非常宽的反射光谱和高反射率。该光栅由高、低相间的折射率材料组成。举例而言,一个SWG反射结构放置在一个低指数腔上,并且在另一个反射层之上(SWG或DBR)。在一个方面,SWG的结构是可移动的,如根据MEMS技术,与反反射器有关,提供波长选择性调谐。本SWG的-VCSEL设计的可扩展性,形成一个在不同波长的SWG的,VCSEL的光学腔范围内,波长范围。这种SWG-VCSEL的设计,可使其光学腔适用于不同的波长及波长范围。 |