公开号：	US2007158596A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	EUV光源
摘要：	本发明提供一种仪器和方法，包括一个可产生等离子体的极端紫外线（“远紫外”）光源多层收集器，其由一个等离子腔形成；等离子形成腔内有一个保护罩，其形状类似于一个有焦点的收集器；该保护罩具有足够的尺寸和热质量承载多层收集器的热量，并将其从保护罩的与焦点相对的一面辐射出去。保护罩的材料由碳化硅、硅、陶瓷或微晶硅玻璃，铝，铍，钼，铜和镍组成。本发明的仪器和方法至少一个辐射加热器，指向保护罩，以使保护罩维持在一定的工作温度范围内。