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2025-06-26 Thursday
企业难题需求
公开号:
US2007171500A1
大类:
国外
行业类型:
仪器
行业内分类:
光学
专利名:
应用压电致动器的微镜面
摘要:
本发明提供一种采用压电致动器的微装置与微镜子。该微镜子包含一个基底;一个旋转受限的平板,其旋转轴在基底上方;至少两个悬臂,每个悬臂都包含一个固定端固定在基底上,一个自由端垂直横穿平板的旋转轴,并连接到平板的一侧,并且在每个悬臂的上表面,安装有一个压电致动器;一些用于连接悬臂的自由端与平板一侧的连接器;以及一对扭转弹簧,其连接到平板上作为其旋转轴。
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