公开号：	US2007183054A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	用于改造数值孔径的光学系统
摘要：	本发明提供的系统和方法用于形成所需分支和方向的照明光束。该照明光束通过一个光瞳限定装置和一个场限定装置成形。随后，这些装置生成的光的发散或数值孔径将被修改，通过使用光学元件对光重新成像，成像在靠近光瞳限定装置和场限定装置的平面上，或改变光瞳限定装置和场限定装置产生的光的数值孔径。