公开号：	US2007188847A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	MEMS设备及方法
摘要：	本发明提供一种微镜链组用在如DMD的MEMS设备中，以及相关的方法。本发明包括：一个第一铰链构件通过一个或多个过孔安装在一个基底上，与铰链构件集成在一起，以减轻扭转变形。一个用于扭转变形的第二铰链构件安装在第一铰链构件上面，这样第二铰链构件的变形将带动第一铰链构件变形。其他的铰链构件，每个都与其他的至少一个铰链构件相连接。一个镜子或近似反射面通过一个或多个镜子过孔安装在第二铰链构件上。MEMS器件可有选择地调整镜子的方向，从而使铰链组处发生扭转变形。