公开号：	US2007206171A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	用于微平板刻度投影曝光仪的照明系统
摘要：	本发明提供一种照明系统，用于微平板刻度投影曝光仪，其包括：一个光源，一个第一光纤光栅元件和一个第二光纤光栅元件。该第一光纤光栅元件在一个照明系统的第一光瞳平面扩展，并且其几何光通量沿垂直于投影曝光仪的扫描方向增强。第二光纤光栅元件在一个照明系统的第二光瞳平面扩展，第二光瞳平面不要求与第一光瞳平面相区分，并且其几何光通量也沿垂直于投影曝光仪的扫描方向增强。这种照明系统可使在刻度平板上的辐射更均匀。