公开号：	US2007212616A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	调整光掩膜大小的方法
摘要：	本发明提供一种调整光掩膜大小的方法。首先，对原始坐标进行转换。然后对原如光膜的长、宽进行转换。随后根据转换后长、宽，校正因坐标变换而产生的尺寸差异。