公开号：	US2007231709A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光刻仪器和画图设备
摘要：	平版印刷仪器的掩模上有图案的区域会被转移基底上，并且会在该图案周围有一圈边界。其中至少部分边界有多个元素，使得使用时边界不会从基底上脱落。另外，还有光刻设备，该仪器有投影系统，一个基板平台可以安放基板，画图设备有一块图案区域，可以用辐射束通过投影系统将图案投影到基底上，至少部分边界包含很多元素，它们用来指导辐射到基底上，元素的维数使其在使用中不会从基底上脱落。