公开号：	US2007236778A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	模拟微机电系统与非线性支持
摘要：	这里展示了一个带有中枢微镜模拟MEMS器件，由多个光束支持提供非线性电阻。一个电极可以静电吸引微镜以抵抗光束可能引起的偏移，当力量平衡是，微镜正好在对着目标的角度。光束支持优于常规扭转铰链支持，因为它对微镜提供了非线性支持，更好地匹配的静电作用力的非线性性质。