公开号：	US2007253663A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光学耦合结构
摘要：	本说明主要讲光电耦合结构，制造方法，以及运作方法。光学耦合结构包括一个在一个SOI衬底上设备层里的波导。棱镜在SOI衬底的底部。SOI衬底BOX层在棱镜和波导层之间，作为一个间隔区，促进从棱镜光学耦合到波导中。棱镜置于波导下，光电集成电路更容易控制适应棱镜。棱镜可直接制作在SOI衬底的散装层或直接粘接在BOX层底部。