公开号：	US2007269722A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	混合相移掩模及其制造方法
摘要：	本发明公开了一种混合相移掩模（PSM），它有多层膜结构，从底部到顶部依次是透明膜，衰减膜，不透明膜。通过使用多种曝光和发展过程以及控制蚀刻选择性，多膜结构可以形成单元区域无色调，周边地区半色调的PSM。