公开号：	US2007281247A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	激光抗灼剂
摘要：	本设计涉及一个制作微结构装置的方法，通过将第一抗灼层覆盖在底板上。在底板上通过辐射形成一个模板，它减少了抗灼层的热移动。