公开号：	US2007285638A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光刻镜阵列
摘要：	一个平面镜阵列装置包括：一个用于支撑多个可调反射元件的载体。至少一个驱动器与每个反射元件相连，驱动器的设置是用于调整与之相连的每个反射元件的方向或者位置。该装置还包括一个至少反射装置的一部分相连的液体。