公开号：	US2008007814A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	微机电系统结构及其制作方法
摘要：	一个微机电系统结构包括一个基板元件，一个在基底元件上形成的电极板，一个在基底元件上形成的微机电系统结构的电源元件，还有一个电极连接层，和连接着电极板和电极连接层的连接线。