公开号：	US2008055712A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光源的滤光系统
摘要：	本发明关于一个平版印刷进程中的光源滤光系统，用于含有波长范围在20到250nm之间的气流动吸收体的半导体装置商品中，流动吸收气体与光源发射光路交叉。本发明还涉及了用于生产半导体衬底的平版印刷装置、滤光系统的使用、滤光方法以及半导体元件的生产方法。