公开号：	US2008094690A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	空间光调制器
摘要：	干涉空间光调制器具有两个腔，一个使用部分反射膜和可动反射膜作为外壁的光学谐振腔，另一个是用可动反射膜和底金属层作为电极的机电推进腔。空间光调制器建立在硅衬底上且经常被寻址。本发明还描述了空间光调制器的微显示装置和利用该装置的投影显示系统。