公开号：	US2008107994A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光子晶体超紫外线（EUV）光阻
摘要：	本发明涉及的EUV（超紫外线）光阻包括光子晶体和其它元件。光子晶体通常不仅能够阻碍光传播，还能创造光能够传播的共振容器。光子晶体基于生物聚合物，具有能够自组装成为晶体形式的能力。