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企业难题需求
公开号: US2008117402A1
大类:国外
行业类型:仪器
行业内分类:光学
专利名: 平板印刷装置和方法
摘要: 一方面,本装置由环形封条形成,包括:一个用于支持衬底的衬底支架,衬底至少有一部分具有防蚀涂层;一个加热装置用于加热防蚀涂层区,衬底支架和加热装置之间可能有相对运动,犹豫着这个运动,可以利用仪器使得防蚀涂层的加热区呈环形。
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