公开号：	US2008129973A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	平板印刷装置及设备制造方法
摘要：	介绍了一种平板印刷装置，包括：将一束光分成多个光束的分光器；一个支撑衬底的衬底座；一个可重定向或组合至少一部分多光束的光束组合器，在衬底上形成干涉图样；与衬底座通信的控制单元；发出光束的辐射源。