公开号：	US2008144155A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	非接触微平面镜
摘要：	微平面镜装置包括基座支撑的铰链和绕铰链可倾斜的镜片。铰链长度大于1微米，厚度小于500纳米，宽度小于1000纳米。铰链可在镜片从非倾斜位置开始倾斜时，产生一个弹性恢复力。