| 摘要： | 提出了一种紧凑型激光光学系统，以高光学效率和一致性，辐射激光。该光学系统，沿光线传播的方向，包括：一个折射光束扩束器，调整光束的大小及能量强度；一个光束压平模块，提高吞吐量和光束一致性；一个歪像校正器，补偿两个轴上的光线发散；一个衰减部件，调整光线强度；扫描通过衬底表面的振镜；一个包含多个折射元件的聚焦透镜，在衬底板上释放光束。激光光学系统对激光光源波束成形，提高有效宽度，以在制造时提高生产力。系统减小了峰值强度，以对衬底的损害。对激光光学系统进行了设计优化，使得在使用小激光器、低损耗的情况下，传输率和光学效率最大化。 |