| 摘要： | 排列的光学部件，特别是在目镜（1,8）或照明/曝光系统中的光学部件，在外壳内包括：至少一个光学元件如特别是透镜（34,35），平面镜或是一个孔径（9），至少一个元件被至少一个操纵器影响，在此处(i)至少一个操纵器（10，22,25）或者位于外壳的外部或者位于被完全分开或很大程度上依靠去耦装置（假设存在有效耦合）的夹持工具中，(ii)操纵器包括一个精密调节或调节光学元件的机构；(iii)操纵器包括第一、二装置，第一装置产生一个排斥力或排斥扭矩，第二装置（5,6,11,15,19）抵消并部分补偿排斥力或排斥扭矩。 |