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2025-06-27 Friday
企业难题需求
公开号:
US2008241764A1
大类:
国外
行业类型:
仪器
行业内分类:
光学
专利名:
平板印刷方法
摘要:
该专利介绍了一种平板印刷图案方法,以加强有图案的光刻胶。方法包括:对要刻上图案的表面使用含有聚合体树脂的光刻胶(18);产生光化辐射下曝光的催化剂的光刻胶产生器;冷却器;在光化辐射下通过一个掩膜(12)曝光光刻胶(18)。随后,按照任意顺序,过执行过曝光烘烤,利用显影器对光刻胶(18)进行显影,移除已被光化辐射曝光的光刻胶部分。显影器中,合成器树脂在曝光前大多不能溶解,在催化器的作用下,可溶解,在烘烤过程中,受催化器作用的影响,合成体树脂被交联。
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