公开号：	US7116465B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	微镜器件
摘要：	微镜器件一镜面，其上的镜面可以绕通过镜面中心的第一轴旋转，上部透明基板有第一和第二上电极层，正对着镜面层，并且平行于第一轴，下部基板有第一和第二下电极层，正对着镜面层，并且平行于第一轴，上基板堆叠在镜面的一侧，同时确保镜面中心与第一和第二上电极层之间的第一空间，而下部基板堆叠在镜子的另一侧，同时确保镜面中心与第一和第二下电极层之间的第二空间，在电极对上加电压可以使镜面绕第一轴旋转。