公开号：	US7135804B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	带转子结构的微反射镜
摘要：	微反射镜装置包括一个定子结构，上边径向定子电极，转子结构上有径向转子电极，安装在转子结构上的镜面，还有一个柔性结构连接转子结构和定子结构。