摘要: | 制造薄膜磁性传感器的方法包括:将绝缘基底不需要的部分从其表面移除或者将一张由绝缘非磁性材料制成的薄膜置于绝缘基底表面之上,在由绝缘非磁性材料制作的绝缘基底的表面形成一个投影区;将一对薄膜抵肩面对面放置,其中插入投影,使彼此完全电隔离,薄膜抵肩由软磁材料形成的薄膜做成,位于绝缘基底的表面,其上有投影,随后移去部分由软磁性材料制成的薄膜,知道至少投影的一小部分表面暴露于外部;将带有高于软磁性材料的电阻系数的GMR薄膜置于投影小部分表面,并且在薄膜抵肩的最上部表面与投影相连接,以使GMR薄膜与薄膜抵肩最上表面电气性连接。 |