公开号：	US7177718B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	半导体生产系统
摘要：	半导体生产系统有一个仓库用来储存所有的信息，包括半导体设计的信息，半导体制造的信息，及半导体检查工程的信息。系统的储存装置由网络，称作储存局域网或"SAN"。SAN半导体制造仪器、检查仪器及储存仪器之间的连接。存储设备可与其他制造及检测、设计环境设备无缝连接。