公开号：	US7218803B1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光学表面显微精密圆球探针及其使用方法
摘要：	用于实现光学仪器表面显微的设备和方法使用了精密圆球端点作为近场探针的光线渐变器。传输光纤放置在毗邻精密圆球的位置将光学检测信号以倏逝波耦合到精密圆球。精密圆球中产生了一系列极窄的回音壁模式（WGM），并从中发射出相关的电磁场。精密圆球探针可以移动到分析光学仪器的表面（或转化为精密圆球下的仪器），这时，表面的任何一种异常状态（比如缺陷，划痕等）将会扰乱电磁场模式，并将反映精密圆球的测量输出功率的变化。