公开号：	US7245349B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	曝光仪器
摘要：	曝光仪器将基底暴露在底板上的图案。该仪器包括：第一、第二和第三卡盘用来固定基底；第一载物台微调固定第一个卡盘来实现精确驱动；第二载物台微调固定第二个卡盘来实现精确驱动；粗调阶段，第一和第二微调载物台安装好，垂直于光轴在X-Y平面移动；曝光单元，用第一卡盘实现基底的曝光操作；测量单元，用第二卡盘实现基底的测量操作；控制器，驱动粗调载物台，产生测量，分别实现测量和曝光操作。