公开号：	US7251390B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	平面波导设备
摘要：	一个OBO平面波导设备包括：Si基底，Si基底上形成的Si2O层，Si基底上彼此平行的许多Si光波导。加热器和散射片分别提供Si基底相反的部分。由于加热器和散热片的作用，在许多Si光波导对准的方向形成了Si基底的温度梯度分布。在温度梯度分布形成的方向，Si基底的热变电组比20K/W大，比2000K/W小。OBO平面波导设备达到了降低功耗的目的。