公开号：	US7257307B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	MEMS开关
摘要：	MEMS（微机电系统）开关，包括：基板，基底上表面形成的固定电极；固定电极两面形成的信号线；固定电极一定距离的信号线上部形成连接部分，连接信号的边缘部分；支持连接部分移动的支持部分，支持部分上面的移动电极。