公开号：	US7259777B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	扫描系统
摘要：	稳定不同大小平板的仪器包括：底座断面，具有平坦表面，包括许多表面上形成的内部连接通道；至少一个连接通道的端口；至少连接一个端口的真空源；几乎覆盖所有通道的中间平板，有许多洞，它们被保持平坦表面的板覆盖。