公开号：	US7271958B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	衍射光调制器
摘要：	本发明涉及衍射光调制器，特别是在该衍射光调制器中反射镜的较低支撑的放置考虑到了反射镜的内部应力，提高了反射镜的平面度，从而增加了光调制器的光学效率。