公开号：	US2006248950A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	低加速力敏感的压力传感器
摘要：	一种用于环境下例如汽车轮胎的压力传感器，该传感器有一个部分为柔性膜的腔室，在基准压力下该腔室有一个流动体。实际工作时，柔性膜由于基准电压和流体压力之间的压力差而产生偏转，这样相关电路就可以将柔性膜的偏转转化为表示流体压力的输出信号。该传感器是一种MEMS器件，它的凹槽、柔性膜以及相关电路是用光蚀刻技术和沉积技术加工形成的。MEMS制造技术制造的传感器具有高容量，这样每个传感器的单位成本就很低。该MEMS传感器非常小，所以可以安装在很有限的空间区域内，例如轮胎气门嘴的塞子上。