公开号：	US2006260108A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	弯曲板波传感器
摘要：	一种制造弯曲板波传感器的方法包括以下步骤：在一个基板上沉积一个终止腐蚀层，在该终止腐蚀层上沉积一个薄膜层，在薄膜层上沉积一个压电层，在压电层上通过使用驱动齿穿过整个压电层的长度形成一个梳齿状图案。腐蚀一个通过基板的内壁基本平行的孔，除去在孔和薄膜层之间的一部分终止腐蚀层以暴露一部分薄膜层。