| 摘要： | 摘要：检测缺陷的方法和设备，具有高灵敏度，可以检测物体的有害缺陷或异物，该物质被一层透明的薄膜覆盖如氧化膜，由于圆形结构可以减少噪音。缺陷的检测仪器，包括一放有基板试样的台子且该台子可以在X,Y和Z方向上任意转动，一照明系统，照射光线从倾斜方向照在圆形结构上，以及光学成像系统，形成一个由向上和倾斜方向的照射区域的图像。有了这样的设计就可以采集到衍射光和散射光，通过由照明系统照明收集。此外，基于傅立叶变换的空间滤波器可以阻止光线的衍射。将接收到的散射光和反射光转换成电信号。将一个芯片的转换信号与其他邻近芯片的信号进行比较。如果这些信号彼此不相同，则可以确定检测标本存在异物。 |