公开号：	US2006156569A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	平面定位的系统与方法
摘要：	控制两个表面（比如主平面和参考平面）间的关系及修正预定或理想关系的方法和系统是使用多个制动器和弯曲组件实现的。制动器可以被一致驱动以在一个维度上移动主平面，也可以被独立驱动以实现微调主平面的节距或使其转动。柔性在组件被用来减小线性制动器的横向交叉耦合。