| 摘要： | 通过降低外来噪音的影响提高传感器的检测精度。根据由柔性衬底支撑的集结块的位置改变，检测出作用在目标上的加速操作。该柔性衬底固定在一个框架上，集结快焊接在中心。当诸如加速运动等力作用在集结快上，集结快的位置就会改变，柔性衬底也会变形。根据压阻元件多个电路参数的变化就可以检测出集结快的位置改变以及柔性衬底的变形。压阻元件由梁结构提供，作为检测元件。处理检测信号的信号处理电路配置在IC芯片上，集结快也由此配置。检测信号通过检测元件获得。通过IC芯片配置集结快，可以缩短信号处理电路与检测元件之间的距离，以及降低外来噪声的影响。 |