公开号：	US2007064225A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	缺陷检测方法和装置
摘要：	该方法和装置用于检测缺陷。通过在不同光学条件下拍摄样品，获取样品相同区域的图像信号。获取的图像用于分析，以及可选择光学条件，以改变图像信号的对比度。在选定的光学条件下，通过检测设备拍摄样品获取样品的图像信号。选定光学条件下的图像用来评估调整检测光学条件，包括检测阈值。该阈值大于获取阶段检测到的缺陷之间的最大对比差，这样就可以检测到大部分实际缺陷。通过处理由检测设备在调整好的光学条件下获取的样品图像，就可以检测出样品的缺陷。