公开号：	US2007064227A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	化学监测方法和装置
摘要：	本发明运用光谱仪监测处理箱中的化学物质。该光谱仪包含一个等离子发生器，是基于化学品随着时间推移而消耗的模式的。相关模式可能包括消耗量的改变，如达到消耗的峰值、欠消耗或正常消耗。具体举例来说，推进到下一步骤时，依靠符合处理标准的消耗模式，在工件上形成各种结构。再举个例子，基于相关模式的分析，建立处理时间的标准。不过还有一些其他基于相关模式分析的关于对工件进行控制操作的例子。本发明可以是个过程或者是一个包括逻辑与资源实施过程的设备。