公开号：	US2007064240A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	角干涉仪
摘要：	在此公开一种测量光束倾斜角的方法和系统。该方法包括引导一束以非正常角度从界面反射回来的光，具有S型偏振元件以及P型偏振元件，其中每一个组件的反射光相位改变是不同的，并测量与元件之间反射光束相位变化相关的光学信号。