公开号：	US2007069128A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	应力测量方法和系统
摘要：	一个收敛电子束注射到晶体材料的评估区域，以获取由收敛电子束传送到晶体材料产生的HOLZ模式，所获取的HOLZ模式的HOLZ线分裂宽度可以计算出来，以及基于HOLZ线的分裂宽度，评估出晶体材料评估区域的应力。因此，该应力测量方法和系统能够得到高精度的局部晶格应力值以及晶体材料的应力值。并且由应力源对晶体材料施加一个应力。