公开号：	US2007070334A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	缺陷检测装置
摘要：	缺陷检测装置包括一个照明光学系统，用于设置被测物检测靶面的传输照明区域以及反射照明区域，第一和第二成像元件具有设置在检测靶面的第一和第二视场。图像光学系统用于在第一和第二视场上成像。在第一和第二成像元件上，缺陷检测元件基于第一和第二成像元件提供的图像，检测被测物上的缺陷。控制元件用于控制传输照明区域与反射照明区域设置位置的位置关系，并且设定第一和第二视场的位置。