公开号：	US2007070360A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	厚度测量方法和系统
摘要：	厚度测量的方法与系统包括第一共聚焦显微镜以及第二共聚焦显微镜。第一共聚焦显微镜以第一方向发出第一光束，并聚焦在第一聚焦板上，第二共聚焦显微镜以与第一方向相反的第二方向大幅发出第二光束，并聚焦在第二聚焦板上。通过重叠第一和第二聚焦板，调整第一和第二显微镜的相对位置。