公开号：	US2007074574A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	微机电压力传感器
摘要：	在此披露一种压力传感器，该压力传感器用于测量液体压力，包括一个压力感应结构。压力感应结构悬挂在弹性机构上的大型目标。该大型目标与弹性机构一起做高Q值机械共振。大型目标有块固定在平面上的区域，该平面垂直于机械振荡的方向。进一步说，大型目标与弹性机构以膜的形式，与传感器装置通过表征机构运动时候液体分子产生的作用，来测量液体压力。