公开号：	US2007080695A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	微机电传感器测试系统及方法
摘要：	微机电传感器测试系统和方法包含一个电气输入信号为MEMS传感器的电容器提供驱动。电容器有一个可移动的金属板。机械执行机构为MEMS传感器提供力学激励。检测系统检测电容器的输出信号。该系统可以测量共振频率，弹簧常量，阻尼系数，频率响应和电容器的磁滞。