公开号：	US2007089516A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	化学微机械传感器
摘要：	本发明是基于微机械超声换能器技术的传感器。这些传感器包括一个多元化的敏感元件部分，但也可能只有一个敏感元件。传感器阵列也已经出现。敏感元件包括支架支撑的基板上的智能化薄膜。智能化薄膜，支撑架和基板形成一个真空间隙。敏感元件连接到电路，该电路是用来控制敏感元件工作在开路共振状态或是接近该状态。智能化薄膜的机械共振频率与和薄膜相连的中介物有关。因此，敏感单元也应包含检测器，为传感器提供输出来反映传感单元机械共振频率。