| 摘要： | 容性真空测量元件是有一个主壳体和一个薄膜组成，Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>都是陶瓷或蓝宝石材料，薄膜式一个二维平面，它的边缘被主封在主壳体上以形成参考真空室。Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>的附加壳体与薄膜相对，其边缘被次封在薄膜边缘以形成测量真空室。通过一个端口将真空测量单元连接到带测量的介质中。在主壳体的中心部位必须要安装光学透视窗口，并且在薄膜的中心部位必须有光学反射面。在参考真空室之外，在离光学透射窗反向一定距离处，要安装光纤以向薄膜表面输入或输出光线。 |