公开号：	US2007091319A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	物体前表面形状检测的方法和仪器
摘要：	本发明提供了一种检测方法和检测装置，可以实现物体前表面特性的高精度测量而不受后表面的影响，并且只是用廉价的设备结构。首先，适合透明板型平面物体3（被检测对象）的条纹图样1，具有明暗相间的条纹样式，因此它从平板型对象前表面反射的图像和后表面反射形成的反射图像被图像计算单元接收到的图像信息是分离开的，然后利用已定图像样式1，平板型对象3的前表面形状通过图像分析仪进行评估，只利用到条纹图样1从透明平板状物体3所获得的一幅反射图像。