公开号：	US2007095147A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	容性压力传感器
摘要：	这里介绍一种电容性压力传感器。这种电容性压力传感器包括一个玻璃衬底，它有两个相对的表面。第一个硅衬底上有一个固定电极，这个电极穿过玻璃衬底从其一表面穿出，衬底还有一个突起部分从玻璃衬底的另一个表面穿出。另一个硅衬底与玻璃衬底的一个表面结合并与固定电极相对，因此在固定电极与第二个硅衬底之间形成一个空腔。